精密电容传感器-型号6810 打破纳米分辨率屏障-实现亚纳米分辨率快速响应-高达100千赫带宽！ 该型号6810高分辨率电容传感器提供最先进的位置和位移测量性能。6810是专为高速旋转或振荡的目标，如精密硬盘驱动器主轴电机，精密空气轴承主轴和机械轴承机床主轴的高动态测量。应用包括控制如轴向和径向NRRO（非重复运行或异步误差运动）需要解决1至2 nm RMS或更好。 目标表面光洁度或反射率对测量性能没有影响。 完全非接触式设计 亚纳米测量分辨率的先进低噪声设计 高测量带宽- 1千赫，5千赫，20千赫和100千赫可选择的。 目前的5810型用户可以立即提高测量性能。6810个是电兼容的“下降”更换用户谁希望升级现有的5810个系统-没有设计变更是必需的。
